1、精密加热台产品特点
1.1、多种控温方式,温控精度为±0.1℃;
1.2、可同时显示设定温度和实际温度,升温速率可控,最高温度可达350℃;
1.3、加热板加热面积大,均匀性高;
1.4、结构简单,可靠性高,元器件均做防腐蚀处理;
1.5、具有样品升降功能,适用多种尺寸样品。
2、TC3012-TB 精密加热台参数表
项目 | 技术参数 | 备注 |
温度范围 | RT~350℃ | 1.触摸屏控制,顶针升降 2.可同时加热4片4寸硅片,兼6寸和B寸硅片 |
加热面板尺寸 | 300*300mm | |
加热面板材质 | 铝合金(高温陶瓷漆面) | |
控温方式 | PID+液晶数显(配套上位机软件控制) | |
可编辑温度曲线段数 | 40段 | |
控温精度 | ±0.1℃ | |
温度稳定性 | ±0.1℃ | |
温度均匀性 | ±3℃(200℃) | |
升温速率 | 1-20℃/min,可控 | |
温度传感器 | K型热电偶 | |
冷却方式 | 自然冷却 | |
顶 针 | 12个,可升降,升降距离:30mm | |
电 源 | 220V/50HZ | |
加热功率 | 3.2KW | |
加热台外观尺寸 | 380*590*198mm | |
热台净重 | 26KG |